1潔淨車間必須維持一定的相對正壓,不同等級的潔淨車間之間的壓強不小於5Pa;潔淨車間與非潔淨車間之間的壓強以不小於10Pa,以防止低級潔淨車間空氣逆流到高級潔淨車間;
2溫度宜保持18~26℃,
潔淨度級別潛伏粒子最大允許數/立方米微生物最大允許數
≥0.5чm ≥5чm 浮遊菌/立方米沉降菌/立方米
100級 3,500 05 1
1萬級 350,000 2,000100 3
10萬級 3,500,000 20,000500 10
30萬級 10,500,000 60,000 1,000 15
1萬級潔淨車間標準(按塵粒數目和微生物數目來定義的):
塵粒最大允許數(每立方米):
大或等於0.5微米的粒子數不得超過350000個,大或等於5微米的粒子數不得超過2000個;
微生物最大允許數:
浮遊菌數不得超過100個每立方米:,
沉降菌數不得超過3個每培養皿。
10萬級潔淨車間標準(按塵粒數目和微生物數目來定義的):
塵粒最大允許數(每立方米):
大或等於0.5微米的粒子數不得超過3500000個,大或等於5微米的粒子數不得超過20000個;
微生物最大允許數:
浮遊菌數不得超過500個每立方米:,
沉降菌數不得超過10個每培養皿。
30萬級潔淨車間標準(按塵粒數目和微生物數目來定義的):
塵粒最大允許數(每立方米):
大或等於0.5微米的粒子數不得超過10500000個,大或等於5微米的粒子數不得超過60000個;
微生物最大允許數:
浮遊菌數不得超過1000個每立方米:,
沉降菌數不得超過15個每培養皿。
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