淨化車間亂流式 （Turbulent Flow）

    空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器（HEPA） 進入潔淨室，並由潔淨室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於潔淨室等級1,000-100,000級。

    優點：構造簡單、係統建造成本低，潔淨室的擴充比較容易
，在某些特殊用途場所

，可並用無塵工作台，提高潔淨室等級。

    缺點：亂(luan)流(liu)造(zao)成(cheng)的(de)微(wei)塵(chen)粒(li)子(zi)於(yu)室(shi)內(nei)空(kong)間(jian)飄(piao)浮(fu)不(bu)易(yi)排(pai)出(chu)，易(yi)汙(wu)染(ran)製(zhi)程(cheng)產(chan)品(pin)。另(ling)外(wai)若(ruo)係(xi)統(tong)停(ting)止(zhi)運(yun)轉(zhuan)再(zai)激(ji)活(huo)，欲(yu)達(da)需(xu)求(qiu)之(zhi)潔(jie)淨(jing)度(du)，往(wang)往(wang)須(xu)耗(hao)時(shi)相(xiang)當(dang)長(chang)一(yi)段(duan)時(shi)間(jian)。

    淨化車間層流式（Laminar）

    層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，並由高架地板或兩側隔牆板回風。此型式適用於潔淨室等級需定較高的環境使用，一般其潔淨室等級為Class 1~100。

    其型式可分為二種：

    （1）水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁之回風係統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側汙染較嚴重。

    優點：構造簡單，運轉後短時間內即可變成穩定。

    缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

    （2）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔淨度，在製程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

    優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

    缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

    淨化車間複合式（Mixed Type）

    複合式為將亂流式及層流式予以複合或並用，可提供局部超潔淨之空氣。

    （1）潔淨隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將製程區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上

，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI製程大都采用此種型式。

    潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易
； B.維修設備時可在維修區輕易執行。

    （2）潔淨管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級ji以yi上shang。因yin產chan品pin和he作zuo業ye員yuan及ji發fa塵chen環huan境jing相xiang互hu隔ge離li，少shao量liang之zhi送song風feng即ji可ke得de到dao良liang好hao之zhi潔jie淨jing度du，可ke節jie省sheng能neng源yuan，不bu需xu人ren工gong的de自zi動dong化hua生sheng產chan線xian為wei最zui適shi宜yi使shi用yong。藥yao品pin、食品業界及半導體業界均適用。 （3）並裝局部潔淨室（Clean Spot）：將潔淨室等級10,000~100,000之亂流潔淨室內之產品製程區的潔淨度等級提高為10~1000級以上
，以為生產之用；潔淨工作台、潔淨工作棚
、潔淨風櫃即屬此類。

    淨化車間局部潔淨工程

    潔淨工作台：等級Class 1~100級。