掃描電子顯微鏡

JEOL掃描電子顯微鏡

    掃描電子顯微鏡（scanning electron microscope，SEM）於20世紀60年(nian)代(dai)問(wen)世(shi)
，用(yong)來(lai)觀(guan)察(cha)標(biao)本(ben)的(de)表(biao)麵(mian)結(jie)構(gou)。其(qi)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)是(shi)用(yong)一(yi)束(shu)極(ji)細(xi)的(de)電(dian)子(zi)束(shu)掃(sao)描(miao)樣(yang)品(pin)
，在(zai)樣(yang)品(pin)表(biao)麵(mian)激(ji)發(fa)出(chu)次(ci)級(ji)電(dian)子(zi)，次(ci)級(ji)電(dian)子(zi)的(de)多(duo)少(shao)與(yu)電(dian)子(zi)束(shu)入(ru)射(she)角(jiao)有(you)關(guan)
，也(ye)就(jiu)是(shi)說(shuo)與(yu)樣(yang)品(pin)的(de)表(biao)麵(mian)結(jie)構(gou)有(you)關(guan)
，次(ci)級(ji)電(dian)子(zi)由(you)探(tan)測(ce)體(ti)收(shou)集(ji)，並(bing)在(zai)那(na)裏(li)被(bei)閃(shan)爍(shuo)器(qi)轉(zhuan)變(bian)為(wei)光(guang)信(xin)號(hao)，再(zai)經(jing)光(guang)電(dian)倍(bei)增(zeng)管(guan)和(he)放(fang)大(da)器(qi)轉(zhuan)變(bian)為(wei)電(dian)信(xin)號(hao)來(lai)控(kong)製(zhi)熒(ying)光(guang)屏(ping)上(shang)電(dian)子(zi)束(shu)的(de)強(qiang)度(du)
，顯(xian)示(shi)出(chu)與(yu)電(dian)子(zi)束(shu)同(tong)步(bu)的(de)掃(sao)描(miao)圖(tu)像(xiang)。圖(tu)像(xiang)為(wei)立(li)體(ti)形(xing)象(xiang)，反(fan)映(ying)了(le)標(biao)本(ben)的(de)表(biao)麵(mian)結(jie)構(gou)。為(wei)了(le)使(shi)標(biao)本(ben)表(biao)麵(mian)發(fa)射(she)出(chu)次(ci)級(ji)電(dian)子(zi)，標(biao)本(ben)在(zai)固(gu)定(ding)、脫水後，要噴塗上一層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發出次級電子信號。

    目前掃描電鏡的分辨力為6~10nm，人眼能夠區別熒光屏上兩個相距0.2mm的光點，則掃描電鏡的最大有效放大倍率為0.2mm/10nm=20000X。

光學顯微鏡、TEM、SEM成像原理比較

人類血細胞SEM照片