掃描電子顯微鏡

JEOL掃描電子顯微鏡

    掃描電子顯微鏡（scanning electron microscope，SEM）於20世紀60年nian代dai問wen世shi，用yong來lai觀guan察cha標biao本ben的de表biao麵mian結jie構gou。其qi工gong作zuo原yuan理li是shi用yong一yi束shu極ji細xi的de電dian子zi束shu掃sao描miao樣yang品pin
，在zai樣yang品pin表biao麵mian激ji發fa出chu次ci級ji電dian子zi，次ci級ji電dian子zi的de多duo少shao與yu電dian子zi束shu入ru射she角jiao有you關guan，也ye就jiu是shi說shuo與yu樣yang品pin的de表biao麵mian結jie構gou有you關guan，次ci級ji電dian子zi由you探tan測ce體ti收shou集ji
，並bing在zai那na裏li被bei閃shan爍shuo器qi轉zhuan變bian為wei光guang信xin號hao，再zai經jing光guang電dian倍bei增zeng管guan和he放fang大da器qi轉zhuan變bian為wei電dian信xin號hao來lai控kong製zhi熒ying光guang屏ping上shang電dian子zi束shu的de強qiang度du
，顯xian示shi出chu與yu電dian子zi束shu同tong步bu的de掃sao描miao圖tu像xiang。圖tu像xiang為wei立li體ti形xing象xiang
，反fan映ying了le標biao本ben的de表biao麵mian結jie構gou。為wei了le使shi標biao本ben表biao麵mian發fa射she出chu次ci級ji電dian子zi
，標biao本ben在zai固gu定ding
、脫水後，要噴塗上一層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發出次級電子信號。

    目前掃描電鏡的分辨力為6~10nm
，人眼能夠區別熒光屏上兩個相距0.2mm的光點，則掃描電鏡的最大有效放大倍率為0.2mm/10nm=20000X。

光學顯微鏡、TEM
、SEM成像原理比較

人類血細胞SEM照片