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臭氧殺菌的效果主要受其濃度、微生物種類、作用時間、溫度、pH值、水的理化性質、雜質等因素影響。
1、臭氧對各種微生物殺滅效果不同。實驗表明，臭氧對人和動物的致病菌和病毒如金黃色葡萄球菌、大腸杆菌、乙肝病毒、沙門式菌等具有很強的殺滅性，即使對化 學消毒劑有著較強耐受力的黴菌也具有較強的殺滅性；
2、溫度、濕度也影響其殺菌滅黴效果。
通常溫度低、濕度大殺菌效果好。實驗證明：當環境相對濕度小於45%，臭氧對空氣中的懸浮物幾乎沒有殺滅性，在同樣溫度下，相對濕度超過 60%時，殺滅效果逐漸增強，在相對濕度為90 %時，達到最佳滅菌效果；
3、臭氧的濃度也影響其滅菌能力，濃度在 0.12mg/m3以下，幾乎沒有殺滅作用。
化學藥劑使用不僅造成殘留，還損傷工作人員健康。而臭氧（O₃）不是添加的化學藥劑，是由空氣中的氧氣（O2）激化形成的氧元素氣體，瞬間完成殺菌後又很快還原為氧氣。因此臭氧是世界公認的高效殺菌而不造成農殘的消毒物質。
臭氧消毒滅菌方法與常規的滅菌方法相比具有以下特點：
一、高效性
臭氧消毒滅菌是以空氣為媒質，不需要其他任何輔助材料和添加劑。所體包容性好，滅菌徹底，同進還有很強的除黴、腥、臭等異味的功能。
二、高潔淨性
臭chou氧yang快kuai速su分fen解jie為wei氧yang的de特te征zheng，是shi臭chou氧yang作zuo為wei消xiao毒du滅mie菌jun的de獨du特te優you點dian。不bu存cun在zai任ren何he殘can留liu物wu，解jie決jue了le消xiao毒du劑ji消xiao毒du方fang法fa產chan生sheng的de二er次ci汙wu染ran問wen題ti，同tong時shi省sheng去qu了le消xiao毒du結jie束shu後hou的de再zai次ci清qing潔jie。
三、方便性
臭氧滅菌器一般安裝在潔淨室或者空氣淨化係統中或滅菌室內（如臭氧滅菌櫃，傳遞窗等）。根據調試驗證的滅菌濃度及時間，設置滅菌器的按時間開啟及運行時間，操作使用方便。
四、經濟性
通過臭氧消毒滅菌在諸多製藥行業及醫療衛生單位的使用及運行比較，臭氧消毒方法與其他方法相比具有很大的經濟效益及社會效益。
目前，臭氧已廣泛用於水處理、空氣淨化、食品加工、醫療、醫藥、水產養殖等領域，對這些行業的發展起到了極大的推動作用。
基於臭氧殺菌技術的安全性、無殘留性以及與其它食品殺菌方法相比的方便性、適用性、環保性,目前己在以下食品領域得到了廣泛應用。
一、食品生產車間殺菌、物體表麵消毒及冷庫消毒
作為一種廣譜高效殺菌劑，臭氧的殺菌速度較氯快300-600倍，可以快速殺滅各種細菌繁殖體和芽孢、病毒和真菌，如大腸杆菌、沙門氏菌、金黃色葡萄球菌、枯草杆菌黑色變種芽孢、黑曲黴、乙型肝炎表麵抗原等。與食品行業常用的消毒劑相比，臭氧的殺菌能力與過氧乙酸相當，高於甲醛、二氧化氯、高錳酸鉀及氯製劑等化學消毒劑；在不產生殘留造成汙染方麵，沒有任何化學消毒劑可與之相比；而er與yu紫zi外wai線xian照zhao射she的de方fang法fa相xiang比bi，不bu僅jin不bu存cun在zai殺sha菌jun死si角jiao，還hai可ke大da大da縮suo短duan殺sha菌jun時shi間jian，並bing且qie可ke以yi用yong符fu合he國guo家jia衛wei生sheng標biao準zhun的de低di濃nong度du臭chou氧yang繼ji續xu保bao持chi生sheng產chan車che間jian的de空kong氣qi清qing潔jie，彌mi補bu了le紫zi外wai線xian無wu法fa進jin行xing車che間jian保bao潔jie工gong作zuo的de缺que憾han。
臭(chou)氧(yang)不(bu)但(dan)能(neng)對(dui)密(mi)閉(bi)空(kong)間(jian)進(jin)行(xing)消(xiao)毒(du)滅(mie)菌(jun)，而(er)且(qie)也(ye)能(neng)作(zuo)用(yong)於(yu)物(wu)體(ti)表(biao)麵(mian)和(he)內(nei)部(bu)，特(te)別(bie)是(shi)近(jin)年(nian)來(lai)對(dui)臭(chou)氧(yang)應(ying)用(yong)技(ji)術(shu)的(de)深(shen)入(ru)開(kai)發(fa)，使(shi)其(qi)在(zai)食(shi)品(pin)工(gong)業(ye)中(zhong)越(yue)來(lai)越(yue)受(shou)到(dao)重(zhong)視(shi)。
臭氧在空氣中殺菌常用的濃度及使用方法應用範圍濃度（ppm）表
二、果蔬儲藏保鮮
chouyangnenggouyizhibufenjiyindebiaodajijiangdianjihuanbingwansuosuanhechengmeiheanjihuanbingwansuosuanyanghuameidehuoxing，congerjiangdileyixishengwuhecheng，tuichiguoshuchengshu。ciwai，chouyangchulimingxianjiangdiguoshuxibaobizhongzhang、抑製果膠和中性糖溶解及細胞壁降解酶活性，從而降低果蔬果肉軟化和細胞壁分解。
三、生產用具、工作服等消毒
食品加工、冷飲、shenghuazhiyaodengbumenduigongzuofuxiaoduyaoqiuhengao。yibanchangshiyongdeziwaidengzhaoshefangfa，yinguangbozhishedaodebuweicaiyouxiaoduzuoyong，shouzhaomianjihenxiao，shijixiaoguohencha。erliyongO₃對工作服消毒是一種高效、經濟又簡便的方法。
四、生產用水殺菌淨化、礦泉水殺菌保質
食品生產需要大量潔淨水, 這在生產成本中是一項較大開支,利用臭氧處理不合格水質,完全可以達到這一目的。
礦泉水的保質期取決於微生物的徹底殺滅，常用的過濾加紫外線消毒的方法難以達到質量標準。臭氧殺菌成為首選方法,既可完全殺滅微生物,又可去除水中鐵錳、可溶性鹽類,保存有益的碳氧化合物。
五、降解農藥殘留
通過對一些通常采用的去除農藥的方法逐一進行研究和試驗，發現：用水浸泡和衝洗隻能去掉約10%的殘留農藥，浸泡隻對水溶性農藥有一定效果。但在我國投入市場的200 duozhongnongyaozhong，juedabufenburongyushui，shiyongputongcanjuqingxijiqingxi，xiaoguoyejiaocha。youyuxuduocanjuxidijishiyilianjiadewanjibenhuangsuannaweizhudehechengyuanliao，yongtamenxidishucaishuiguo，wangwanghuizaochengerciwuran。
在研究過程中，對利用臭氧消毒技術處理的兩種蔬菜進行了試驗，試驗結果表明：臭氧能有效打開農藥的化學鍵，達到對蔬菜中殘留農藥的解毒降解效果。經臭氧水處理的蔬菜樣本浸泡10 分鍾後，農藥殘留的平均去除率可達95.0%。
六、產品脫色漂白作用
臭(chou)氧(yang)作(zuo)為(wei)一(yi)種(zhong)強(qiang)氧(yang)化(hua)劑(ji)，在(zai)食(shi)品(pin)行(xing)業(ye)中(zhong)也(ye)可(ke)起(qi)到(dao)脫(tuo)色(se)劑(ji)的(de)功(gong)效(xiao)。在(zai)製(zhi)糖(tang)工(gong)業(ye)中(zhong)，目(mu)前(qian)通(tong)用(yong)的(de)方(fang)法(fa)是(shi)加(jia)入(ru)二(er)氧(yang)化(hua)硫(liu)作(zuo)為(wei)澄(cheng)清(qing)劑(ji)，但(dan)是(shi)這(zhe)種(zhong)方(fang)法(fa)導(dao)致(zhi)成(cheng)品(pin)中(zhong)的(de)硫(liu)殘(can)留(liu)，有(you)很(hen)大(da)的(de)使(shi)用(yong)局(ju)限(xian)性(xing)。可(ke)以(yi)考(kao)慮(lv)選(xuan)擇(ze)臭(chou)氧(yang)替(ti)代(dai)二(er)氧(yang)化(hua)硫(liu)進(jin)行(xing)試(shi)驗(yan)，控(kong)製(zhi)臭(chou)氧(yang)處(chu)理(li)條(tiao)件(jian)，在(zai)達(da)到(dao)預(yu)期(qi)的(de)脫(tuo)色(se)要(yao)求(qiu)的(de)同(tong)時(shi)沒(mei)有(you)產(chan)生(sheng)有(you)毒(du)化(hua)學(xue)物(wu)質(zhi)殘(can)留(liu)。
另(ling)外(wai)，臭(chou)氧(yang)也(ye)可(ke)用(yong)於(yu)乳(ru)清(qing)蛋(dan)白(bai)的(de)漂(piao)白(bai)中(zhong)，乳(ru)清(qing)蛋(dan)白(bai)的(de)傳(chuan)統(tong)漂(piao)白(bai)方(fang)法(fa)是(shi)使(shi)用(yong)過(guo)氧(yang)化(hua)氫(qing)或(huo)過(guo)氧(yang)化(hua)苯(ben)甲(jia)酰(xian)，但(dan)是(shi)這(zhe)種(zhong)方(fang)法(fa)可(ke)能(neng)會(hui)造(zao)成(cheng)乳(ru)清(qing)粉(fen)風(feng)味(wei)的(de)改(gai)變(bian)，在(zai)一(yi)定(ding)條(tiao)件(jian)下(xia)，臭(chou)氧(yang)可(ke)達(da)到(dao)與(yu)過(guo)氧(yang)化(hua)氫(qing)相(xiang)同(tong)的(de)漂(piao)白(bai)效(xiao)果(guo)。
臭氧的毒性是臭氧用於食品行業的最重要的標準。在人體中，臭氧主要影響呼吸道。臭氧毒性症狀包括頭痛、頭暈、眼睛和喉嚨的灼燒感，慢性中毒可能會引起頭痛、乏力，記憶力減退，導致支氣管炎的患病率增加，肌肉的興奮性增加。臭氧濃度在0.15 mg/L為嗅覺臨界值，一般人可嗅出，當濃度達到10mg/L以上時為中毒限，可能對人體產生不良影響，一般來說安全使用臭氧完全可以保證人的健康不受到危害。
從食品安全的角度，由於臭氧殺菌的濃度很低，並且易於分解，食品表麵無殘留汙染，因此不會對食品品質產生不良的影響。
