一
、簡介
1、原理
使一束自然光經起偏器變成線偏振光。再經1/4bochangpian，shitabianchengtuoyuanpianzhenguangrushezaidaicedemomianshang。fansheshi
，guangdepianzhenzhuangtaijiangfashengbianhua。tongguojiancezhezhongbianhua，biankeyituisuanchudaicemomiandemouxieguangxuecanshu。
2
、結構
本儀器分為光源

、接收器、主機、電子及通訊四部分
，外觀參看下圖。
2.1 光源：采用波長為632.8nm的氦氖激光光源①其特點是：光強大、光譜純、波長穩定性好。
2.2 接收器：采用光電倍增管⑤
，把光訊號變為電訊號，經放大後輸出至微機，由微機選擇出消光位置的角度值。
2.3 主機部分：除以上兩項外，還有起偏組件②，樣品台③，檢偏組件④。
2.4 電子及通訊部分⑥：采集光強及對應的角度值並傳輸到計算機
，再接收由計算機發出的指令逐步靠近消光點。

二、 儀器的安裝（在安裝和校正之前首先要看明白注意事項）
1
、首先將儀器安放在儀器室的工作台上
，用軟毛刷或綢布清理儀器表麵的塵土。
2
、將主機上的各條導線插到下方的電源箱上
，可根據針數的不同判斷插孔位置，再將紅、黑兩個插頭插入相應顏色的插孔內（此兩個插座帶有高壓
，插入時必須先斷電再操作，並且不要觸摸金屬部分），再將儀器用電源線接入220V，50Hz交流電，最後用USB線連接好主機與計算機。
3、所有連線連接好之後，打開主機電源開關


，將儀器的配套光盤放入光驅，計算機上會檢測到USB設備，然後點擊“下一步”使用默認設置，直到USB設備安裝完成
；之後，在“我的電腦”中雙擊“光盤”圖標打開光盤，雙擊光盤根目錄下的“Setup”安裝儀器的配套軟件，具體操作見第5頁的“軟件的使用方法”。

三、儀器的校正
yiqichuchangqianjunyitiaohao，manzushejiyaoqiu
，danyouyuchangqishiyonghuoyunshuzhongdezhendongkenengzaochengyiqishangdegebufenweizhiguanxishaoyoubiandong。weibaozhengyiqijingduxuzhongxintiaozheng，buzhouruxia：
注意：在以下所提到的光路調整中不要用眼睛直接觀察激光束
，需要觀察光強時請用白屏（或白紙等）擋住光束，觀察白屏上反射光點的亮度。
打開主機開關，正對儀器時右手為光源側
，左手為接收側，使光源側的遊標零點對準大刻度盤的90°位置，當：
1． 光源側無光線射出或射出的光強太弱
請qing將jiang光guang源yuan側ce的de遮zhe光guang套tao管guan推tui回hui並bing將jiang偏pian振zhen擋dang光guang罩zhao取qu下xia

，將jiang此ci側ce光guang欄lan摘zhai下xia，並bing將jiang調tiao整zheng裝zhuang置zhi插cha入ru調tiao整zheng孔kong，如ru果guo光guang束shu不bu能neng通tong過guo兩liang個ge調tiao整zheng裝zhuang置zhi上shang的de孔kong則ze需xu將jiang光guang源yuan側ce的de擋dang光guang罩zhao摘zhai下xia，鬆song開kai反fan射she鏡jing固gu定ding螺luo絲si，調tiao節jie反fan射she鏡jing的de角jiao度du，直zhi到dao激ji光guang束shu可ke垂chui直zhi通tong過guo兩liang個ge調tiao整zheng裝zhuang置zhi上shang的de孔kong，並bing且qie強qiang度du無wu明ming顯xian減jian弱ruo，說shuo明ming光guang束shu方fang向xiang正zheng確que
，在zai此ci步bu驟zhou中zhong盡jin量liang隻zhi調tiao整zheng上shang側ce的de棱leng鏡jing，當dang此ci棱leng鏡jing調tiao節jie無wu法fa使shi光guang線xian方fang向xiang正zheng確que則ze需xu先xian取qu下xia此ci棱leng鏡jing
，將jiang調tiao整zheng裝zhuang置zhi2裝入棱鏡下方的圓孔內，調整下側的棱鏡，使光束穿過此裝置的兩個孔，調整完成後取下調整裝置2，再zai將jiang上shang側ce的de棱leng鏡jing裝zhuang上shang，並bing調tiao整zheng位wei置zhi使shi光guang束shu通tong過guo兩liang個ge調tiao整zheng裝zhuang置zhi上shang的de孔kong
，調tiao好hao後hou可ke取qu下xia調tiao整zheng裝zhuang置zhi

，將jiang光guang欄lan調tiao整zheng到dao適shi當dang位wei置zhi後hou鎖suo緊jin
，蓋gai上shang先xian前qian取qu下xia的de擋dang光guang罩zhao，再zai將jiang偏pian振zhen擋dang光guang罩zhao扣kou好hao，則ze光guang源yuan側ce的de光guang路lu調tiao整zheng完wan成cheng；
2． 當光點偏出接收側的光欄孔時
需要將遮光套管推回並取下接收側的偏振擋光罩
，將光欄座鬆開並調整到光點通過光欄的中心；
3． 當光點可以通過接收側的光欄孔時
kezhijiezhuangshangtiaozhengguanglan，guanchaguangshushifouyenengtongguotiaozhengguanglan，rubunengzeyaoxianzhaixiagudingliban，guanchaguangshunengfoudarujieshouqizheguangguandezhongxin，rubunengjiuyaotiaozhengjieshouqidejiaodu，zhihouzaizhuangshanggudinglibanbingtiaozhenghaojiaodu，shiguangshutongguotiaozhengguanglan；
4． 將光源側和接收側的遊標零點各對準大刻度盤的70°位wei置zhi，在zai樣yang品pin台tai上shang放fang置zhi隨sui機ji攜xie帶dai的de樣yang品pin，使shi反fan射she光guang點dian通tong過guo接jie收shou光guang欄lan及ji調tiao整zheng光guang欄lan，如ru果guo光guang點dian偏pian出chu接jie收shou光guang欄lan
，則ze要yao調tiao整zheng樣yang品pin台tai下xia方fang的de調tiao節jie手shou鈕niu

，使shi光guang點dian射she入ru接jie收shou光guang欄lan及ji調tiao整zheng光guang欄lan
，並bing鎖suo緊jin樣yang品pin台tai，取qu下xia調tiao整zheng光guang欄lan
，裝zhuang上shang接jie收shou側ce的de偏pian振zhen擋dang光guang罩zhao
；
5． 再將光源側及接收側的遊標零點各對準大刻度盤的90°位置，進入自動橢偏儀軟件操作窗口
，點擊“控製”菜單下的“校正”，打開校正窗口
，點擊窗口中的“放置1/4波片”按鍵
，繼續點擊“校正1/4波片”儀器會自動校正光路中元件的相對角度位置，校正後退出此窗口，此步驟完成之後對任意樣品測量時光路及樣品台都無需再調整。

四
、儀器使用和測量方法
主機部分
1、接通主機電源;
2
、將主機上的各條線與下部對應的插座連接好；
3、打開主機開關
，麵板上的電源指示燈及開關內的指示燈同時亮起；
4
、打開電腦，用USB線連接好主機與電腦
，此時主機麵板上的USB狀態指示燈亮起，並且電腦右下角的托盤中出現USB設備的圖標
；
5、如(ru)果(guo)儀(yi)器(qi)校(xiao)正(zheng)做(zuo)完(wan)後(hou)沒(mei)有(you)再(zai)次(ci)移(yi)動(dong)儀(yi)器(qi)則(ze)可(ke)以(yi)直(zhi)接(jie)將(jiang)樣(yang)品(pin)放(fang)在(zai)樣(yang)品(pin)台(tai)上(shang)，放(fang)置(zhi)樣(yang)品(pin)時(shi)，首(shou)先(xian)拉(la)動(dong)樣(yang)品(pin)台(tai)後(hou)方(fang)的(de)手(shou)鈕(niu)使(shi)樣(yang)品(pin)夾(jia)離(li)開(kai)固(gu)定(ding)板(ban)
，將(jiang)樣(yang)品(pin)放(fang)入(ru)，待(dai)測(ce)表(biao)麵(mian)朝(chao)向(xiang)固(gu)定(ding)板(ban)，將(jiang)待(dai)測(ce)點(dian)放(fang)置(zhi)在(zai)橫(heng)向(xiang)開(kai)槽(cao)的(de)正(zheng)中(zhong)及(ji)固(gu)定(ding)塊(kuai)的(de)中(zhong)線(xian)上(shang)（也可直接觀察光束在樣品上的光點，使待測點處於光點中心處即可），然後慢慢鬆開手鈕
，夾穩樣品後即可進行測量
，測量後扶住樣品拉開樣品夾取下樣品，再更換其他樣品。
注意：在拉開樣品夾之前請勿拖拉樣品以免破壞表麵的鍍膜。
6、在測量樣品完成後要對樣品進行周期判斷。當光源波長為6328A°時，SiO2膜的一個周期約為283nm左右，在膜厚大於一個周期時，需采用雙角度測量的方法，在單一角度的條件下無法判斷周期，測量值對應的是第一周期內的厚度值。
7
、如果已知周期時，可在建表法中以第一周期內為準查找出厚度，並橫向找出對應周期以得出鍍膜的真實厚度。

五、注意事項：
1． 不要讓光源遊標和接收遊標同時停在90°位(wei)置(zhi)
，以(yi)免(mian)開(kai)機(ji)後(hou)激(ji)光(guang)束(shu)長(chang)時(shi)間(jian)直(zhi)接(jie)射(she)入(ru)接(jie)收(shou)光(guang)欄(lan)對(dui)接(jie)收(shou)裝(zhuang)置(zhi)造(zao)成(cheng)損(sun)壞(huai)
，在(zai)非(fei)測(ce)量(liang)情(qing)況(kuang)下(xia)樣(yang)品(pin)台(tai)上(shang)不(bu)要(yao)放(fang)樣(yang)品(pin)，以(yi)免(mian)反(fan)射(she)光(guang)長(chang)時(shi)間(jian)射(she)入(ru)接(jie)收(shou)光(guang)欄(lan)對(dui)接(jie)收(shou)裝(zhuang)置(zhi)造(zao)成(cheng)損(sun)壞(huai)；
2． 對於以玻璃等透射率較高的物質為襯底的樣品由於上
、下(xia)表(biao)麵(mian)的(de)反(fan)射(she)，反(fan)射(she)後(hou)可(ke)能(neng)出(chu)現(xian)兩(liang)個(ge)光(guang)點(dian)，在(zai)正(zheng)確(que)校(xiao)正(zheng)儀(yi)器(qi)後(hou)應(ying)該(gai)隻(zhi)有(you)主(zhu)光(guang)點(dian)能(neng)夠(gou)射(she)入(ru)接(jie)收(shou)光(guang)欄(lan)，如(ru)果(guo)不(bu)能(neng)確(que)定(ding)主(zhu)光(guang)點(dian)也(ye)可(ke)以(yi)在(zai)調(tiao)節(jie)消(xiao)光(guang)時(shi)，看(kan)有(you)明(ming)暗(an)變(bian)化(hua)的(de)為(wei)主(zhu)光(guang)點(dian)，副(fu)光(guang)點(dian)可(ke)以(yi)不(bu)管(guan)
，並(bing)盡(jin)量(liang)使(shi)副(fu)光(guang)點(dian)不(bu)射(she)入(ru)接(jie)收(shou)光(guang)欄(lan)，以(yi)免(mian)對(dui)測(ce)量(liang)結(jie)果(guo)產(chan)生(sheng)影(ying)響(xiang)
；
3． genghuanjiguangguanshi，kejiangguanzuoquanbuchaixia，zaijianghougaixuanxia，qudiaodianyuanjiexian，jiangjiguangguancongsanrezhaoneiquchu，huanhaojiguangguanzaianyuanweizhizhuanghuiqu
，zhuyijiguangshuchufangxiangbuyaozhuangfan。jiguangqizhuanghuiyuanweizhihou，ruguoguangshubunenggoushechurusheyicedeguanglan，zexuyaoanzhaodi5頁“儀器的校正”中各步驟重新調節各部分，
，特別注意，激光管正負極不能接錯
；
4． 1/4波長片一般情況下不允許轉動，以免造成測量誤差

；
5． 儀器在使用前建議用已知片進行檢查(已知膜厚和折射率的鍍膜片)防止差錯
；
6． 儀器應放在光線較暗
、濕度低

、灰塵少的室內使用；