數(shu)碼(ma)顯(xian)微(wei)鏡(jing)為(wei)了(le)要(yao)電(dian)子(zi)束(shu)在(zai)樣(yang)品(pin)表(biao)麵(mian)上(shang)掃(sao)描(miao)，必(bi)須(xu)在(zai)顯(xian)微(wei)鏡(jing)區(qu)以(yi)外(wai)的(de)無(wu)場(chang)空(kong)間(jian)中(zhong)，使(shi)用(yong)附(fu)加(jia)的(de)掃(sao)描(miao)線(xian)圈(quan)
，在(zai)線(xian)圈(quan)中(zhong)通(tong)以(yi)電(dian)流(liu)從(cong)而(er)使(shi)原(yuan)來(lai)沿(yan)直(zhi)線(xian)行(xing)進(jin)的(de)電(dian)子(zi)軌(gui)跡(ji)發(fa)生(sheng)偏(pian)轉(zhuan).顯微鏡如果把光軸方向稱為Z軸
，則數碼顯微鏡狀掃描就是指電子束既有X方向的掃描(行掃)
，又有y方向的掃描(禎掃).根據Lorentz力的原理可知
，橫向磁場H，顯微鏡可使縱向運行的電子束受到X方向的偏轉，而另一種橫向磁場H二可引起電子束的Y方向偏轉。如果掃描線圈中的電流呈鋸齒波形式。則顯微鏡的偏轉It將從零開始逐漸加大，至某一定值後又立刻回到原來的零位移。鋸齒波的周期T對應於一次行掃或偵掃。顯微鏡行掃周期Tn比幀掃周期TV小得多。兩者的比值決定了電子束在樣品上掃描的一幀中所包含的行數，也稱為掃描光柵的線數N
，N=T,MIT行.因為掃描電鏡中采用的工作距離很小，故掃描線圈隻能放在末透鏡的物方空間
，即讓電子束進入該透鏡場區之前;先受到橫向偏轉。為了使沿軸射來的數碼顯微鏡都能參與成像，而不致被偏轉一次就打到鏡筒壁或其他組件上.所以電鏡中應該采用上、下兩組掃描線圈(每組均包括X和Y偏轉的二個線圈)，使數碼顯微鏡偏轉兩次後在末光闌孔中心處與光軸相交，並進入透鏡場區。

　　

　　前麵已經提到:偏pian光guang顯xian微wei鏡jing樣yang品pin上shang電dian子zi束shu的de掃sao描miao與yu顯xian像xiang管guan中zhong電dian子zi束shu的de掃sao描miao嚴yan格ge同tong步bu。所suo以yi顯xian像xiang管guan熒ying光guang屏ping上shang的de圖tu樣yang是shi徉yang品pin被bei掃sao描miao區qu的de放fang大da像xiang。顯xian微wei鏡jing設she顯xian像xiang管guan熒ying光guang屏ping的de寬kuan度du為weiB。它是固定值(如B=10cm)油代表樣品上被掃區的寬度
，則掃描像的放大倍數為:它基本上取決於顯像管中偏轉線圈電流與鏡筒中掃描線圈電流之比。實際的情況是:xianweijingzhongpianzhuanxianquandianliuzhibaochihengding


，tatongguoyigeshuaijianwangluoyujingtongzhongsaomiaoxianquanchuanlian。suoyipianguangjingtongzhongdesaomiaodianliuzhijiaoxiao，erqiekeyilinghuogaibian。zheyangxianweijingtuxiangdefangdabeishujiukeyihenfangbiandibiandong。ciwai

，zaixuandingsaomiaodianliudangyihou，gaibianyangpinsuochudegongzuojuli，yekegaibianyangpinshangbeisaoqudekuandu，congertiaojiepianguangxianweijingtuxiangdefangdabeishu。