(1)清潔，無油蒸汽返流

   wolunfenzizhenkongbengkebuyongrenhejing

，ancaozuoguichenggongzuo，jiunengweibeichourongqitigongyigejiweiqingjiedezhenkonghuanjing，qiebuhanyourenhetanqinghuahewu。youyuxiandaidewolunfenzibengchudabengwaihenshaoyongyourunhuadele，duiyuxiaobengduoyongyouzhirunhua，yeyouyongkongqizhouchengde，dancixuanfuzhouchengyongdejiaoduo。jinjinianlaiyeyoubushaoganshiqianjibengchuxian
，shiwolunfenzibengxitongbucunzaiyouzhengqifanliu，shitazhenzhengchengweiyizhongqingjiedeganshigaozhenkongbeng。

 

(2)使用方便

zaixuduoyingyongzhong，wolunfenzizhenkongbengkebuyonggaozhenkongfamenhuocuzhenkongfa。zhishijiandandiyiandianniu，bengbiannengkaishigongzuo。congdaqiyalikejiangzhijixianyali。zhezhongxitongkeyitongguowolunfenzibengjinxingcuchou
，keyizhijiasudaogongzuosuduweizhi。zheyangjiukeyibuyongfamen、管道、阱、閥(fa)門(men)控(kong)製(zhi)器(qi)等(deng)真(zhen)空(kong)元(yuan)件(jian)。同(tong)時(shi)也(ye)消(xiao)除(chu)了(le)這(zhe)些(xie)元(yuan)件(jian)所(suo)帶(dai)來(lai)的(de)故(gu)障(zhang)。因(yin)此(ci)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)係(xi)統(tong)所(suo)占(zhan)的(de)空(kong)間(jian)小(xiao)，而(er)且(qie)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)的(de)安(an)裝(zhuang)方(fang)向(xiang)不(bu)受(shou)限(xian)製(zhi)
，可(ke)在(zai)任(ren)意(yi)方(fang)向(xiang)安(an)裝(zhuang)（用油潤滑的泵除外，它隻能在垂直±5°範圍內工作）。這個特點，可用於安裝位置受限製的地方。

 

(3)氣體輸送能力強

    大多數渦輪分子真空泵對於輸送輕氣體（如氫、氦）的de能neng力li很hen強qiang。因yin而er它ta非fei常chang適shi於yu超chao高gao真zhen空kong下xia的de工gong藝yi操cao作zuo。對dui於yu那na些xie富fu氫qing的de工gong藝yi過guo程cheng，氦hai質zhi譜pu檢jian漏lou儀yi等deng場chang合he均jun可ke得de到dao應ying用yong。有you專zhuan門men設she計ji用yong於yu抽chou除chu腐fu蝕shi性xing氣qi體ti的de渦wo輪lun分fen子zi泵beng，適shi用yong於yu刻ke蝕shi、反應離子刻蝕
，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵

、離子泵、擴(kuo)散(san)泵(beng)油(you)等(deng)有(you)腐(fu)蝕(shi)作(zuo)用(yong)。甚(shen)至(zhi)也(ye)會(hui)破(po)壞(huai)標(biao)準(zhun)的(de)未(wei)加(jia)保(bao)護(hu)的(de)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)。由(you)於(yu)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)屬(shu)於(yu)傳(chuan)輸(shu)型(xing)泵(beng)，被(bei)抽(chou)氣(qi)體(ti)可(ke)穿(chuan)膛(tang)而(er)過(guo)，不(bu)在(zai)泵(beng)內(nei)積(ji)存(cun)。因(yin)而(er)它(ta)適(shi)於(yu)氣(qi)體(ti)負(fu)荷(he)高(gao)的(de)工(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)。如(ru)濺(jian)射(she)、刻蝕等。

 

 (4)適於超高真空應用

    一台密封和除氣良好的渦輪分子真空泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的幹式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33nPa）之間。若一台渦輪分子泵再串一台渦輪分子泵，用金屬密封並除氣良好的泵，一般其極限壓力在1×10-10～1×10-11Torr（即13.33～1.333nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物）
，顯然用戶會選擇渦輪分子泵用於高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。

 

(5)高壓力下性能良好

   有些渦輪分子真空泵的入口壓力可在10-1～10-3Torr（即13.33Pa～133.3mPa）之間運行。在這個壓力範圍內
，離子泵不能應用
，對於低溫泵需要節流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩定。

 

 (6)循環的時間短

   多數渦輪分子真空泵
，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間
，一般需要1～3min。對(dui)於(yu)不(bu)同(tong)品(pin)種(zhong)和(he)型(xing)號(hao)的(de)泵(beng)有(you)所(suo)不(bu)同(tong)。並(bing)且(qie)能(neng)立(li)即(ji)關(guan)閉(bi)，並(bing)可(ke)暴(bao)露(lu)大(da)氣(qi)。這(zhe)種(zhong)快(kuai)速(su)循(xun)環(huan)特(te)性(xing)在(zai)樣(yang)品(pin)輸(shu)入(ru)係(xi)統(tong)中(zhong)很(hen)有(you)用(yong)，尤(you)其(qi)對(dui)手(shou)提(ti)式(shi)氦(hai)檢(jian)漏(lou)儀(yi)有(you)用(yong)。

 

 (7)正常使用時間長

   zaimouxieyingyongzhong，wolunfenzibengdezhengchangshiyongshijianyaobiqitabengyouyue。yinweizaizhongqitifuhehefamenlouqideqingkuangxia，huiyinqidiwenbengjingchangbudingshidezaishenghuolizibengjingchangxiufu，erwolunfenzibengshiyonghainengxiaochuyinbengyouduizhenkongshidewuran。

 

 2
、渦輪分子泵缺點

   任何真空泵都有不足之處，渦輪分子真空泵也不例外。下麵介紹它存在的一些缺點

.(1)設備費用高

   在抽速大於1000L/s的de渦wo輪lun分fen子zi泵beng要yao比bi擴kuo散san泵beng和he低di溫wen泵beng的de設she備bei投tou資zi大da。然ran而er渦wo輪lun分fen子zi泵beng在zai由you於yu工gong藝yi氣qi體ti或huo其qi它ta原yuan因yin而er不bu能neng使shi用yong擴kuo散san泵beng和he低di溫wen泵beng的de特te殊shu場chang合he下xia它ta是shi很hen好hao用yong的de。若ruo與yu小xiao型xing或huo中zhong型xing擴kuo散san泵beng相xiang比bi，小xiao渦wo輪lun分fen子zi泵beng是shi相xiang當dang貴gui的de。然ran而er考kao慮lv到dao擴kuo散san泵beng係xi統tong需xu要yao閥fa門men、擋板
、阱
、閥門控製器和管道等，總的花費來計算
，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

 

2)對顆粒物或沉積物敏感

   若物體（螺釘

、玻璃碎片、燈絲或矽片）落入正在運轉的渦輪分子泵中，渦輪會遭到損壞
，往往需返回製造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的
，不會有幾件回用的。重修
、genghuanlingjianshihenguide。weilegongzuoanquanqijian，zaibengrukouchuzhuangshangxikongyandeguolvwang，yibaohubengdezhengchangyunzhuan。zhezhongcuoshiduibengdeyouxiaochoususunshijiaoda。fuzaiyepianshanghoudechenjiwu，huizaochengduiyepiandemosunhetongdaodusai，yehuiyingxiangzhuanzidebupingheng。ruguoyixielizijinruzhoucheng

，zaochengmosun，nengjiangdibengdegongzuoshouming。yincizaimouxieyingyongzhong，anzhuangbaohucuoshishibiyaode。

 

(3)噪音與振動

   從(cong)使(shi)用(yong)經(jing)驗(yan)來(lai)看(kan)，真(zhen)空(kong)泵(beng)會(hui)出(chu)現(xian)振(zhen)動(dong)和(he)噪(zao)音(yin)問(wen)題(ti)，多(duo)半(ban)是(shi)軸(zhou)承(cheng)損(sun)壞(huai)和(he)平(ping)衡(heng)性(xing)差(cha)所(suo)出(chu)現(xian)的(de)問(wen)題(ti)。在(zai)正(zheng)常(chang)的(de)工(gong)作(zuo)中(zhong)

，泵(beng)處(chu)於(yu)平(ping)靜(jing)的(de)狀(zhuang)態(tai)，最(zui)大(da)振(zhen)幅(fu)在(zai)0.1～0.001μm(即100～1nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動如圖5所示。對渦輪分子泵（巴爾蔡司公司生產的330型渦輪分子泵）進行頻譜分析。振動速度V的單位為μm/s，頻率的單位為Hz
，計算振幅可用公式：d=V/2πf，式中d為振幅μm，f為頻率Hz
，產生的最大振幅＜0.005μm（＜5nm）如此小的振動，渦輪分子泵運轉很平穩，噪音很小,對某些特殊應用也是問題。

 

(4)破碎問題

    youxieyonghuyouyuhaipazhuanziyepianposuierbuganshiyongwolunfenzizhenkongbeng，posuishizaibengzhengchangyunzhuanshi

，yelunturanzaodaoxiruyiwuhuozhouchengmosunerchuxianposuide。tongchangyaoyoubaohucuoshi，ruzairukouchujiaguolvwang，posuitongchangshikeyibimiande。

 

(5)暴露大氣易引起事故

   任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂，入口處管道
、閥門
、mifengchuxianwenti，doukenengturanshizhenkongbengrukoubaoluzaidaqiyazhixia。butongxinghaodewolunfenzibeng，naidaqiyachongjidenenglishibutongde。youxiebenghuiyinyepiangongzhenwanquxiangpengersunhuai，danyeyouxiebengshoudaqichongjierbusunhuai。zuihaodebanfashichangjiatongguoshiyandechujieguo。kuosanbenghediwenbengzaigongzuozhongyudaozhezhongturanshiguyebijiaomafan，biwolunfenzibengdedikangnenglicha，rukuosanbengyoubeiyanghuahuixunsuwuranzhenkongshi，diwenbengyaoqiuzaishengdeng。

 

要想渦輪分子真空泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能
，用戶一定要按操作規程和使用步驟進行。