表biao麵mian粗cu糙cao度du是shi影ying響xiang表biao麵mian的de物wu理li和he化hua學xue性xing能neng的de重zhong要yao因yin素su。研yan究jiu表biao麵mian粗cu糙cao度du有you重zhong要yao的de理li論lun意yi義yi和he應ying用yong價jia值zhi。目mu前qian已yi民min用yong工gong業ye許xu多duo種zhong量liang化hua表biao示shi表biao麵mian粗cu糙cao度du的de方fang法fa。最zui常chang用yong的de是shiRMS。但近年來發現許多表麵的標度不變的複雜結構，RMS粗糙度不能有效地描述這種特點。在非平衡態下生長的薄膜預期是一個自仿射分的表麵，它的RMS粗糙度δ隨薄膜生長時間t和x,y基底的水平取樣長度L有以下關係：δ（L
，t)=Lαf(t/Lα/β）